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Otsuka大塚Load Port對應(yīng)膜厚測量系統(tǒng)
產(chǎn)品型號： GS-300
產(chǎn)品品牌：Otsuka大塚
產(chǎn)品介紹：

產(chǎn)品信息 特點 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口 實現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊 支持半導體工藝的高吞吐量要求 支持槽口對齊功能 小尺寸規(guī)格 高精度自動校準單元 自動
詳細介紹
Load Port對應(yīng)膜厚測量系統(tǒng) GS-300

產(chǎn)品信息 特點 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口 實現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊 支持半導體工藝的高吞吐量要求 支持槽口對齊功能 小尺寸規(guī)格 高精度自動校準單元 自動...



產(chǎn)品信息

  特點

● Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

● 實現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊

● 支持半導體工藝的高吞吐量要求

● 支持槽口對齊功能

● 小尺寸規(guī)格

● 高精度自動校準單元


  測量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸
規(guī)格