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HITACHI日立科學儀器SU3900/SU3800高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡:營銷中心
HITACHI日立科學儀器SU3900/SU3800高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡:營銷中心
高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡 SU3900/SU3800 SE Series
SU3900/SU3800 SE系列FE-SEM產品具備超高分辨率和觀察能力,突破了傳統(tǒng)SEM產品的樣品尺寸與重量限制。該系列適用于鋼鐵、汽車、航空航天等超大、超重樣品的觀察,提供四種型號以滿足不同需求。其熱場電子槍可在高低加速電壓下獲得高分辨率圖像,并能觀察樣品表面細節(jié)。此外,該系列支持低真空模式,配備大樣品倉和多種探測器,實現多角度觀察。自動化功能簡化操作流程,提高效率。該設備廣泛應用于材料形貌評價、微觀結構控制和缺陷分析等領域。
SU3900/SU3800 SE系列作為FE-SEM產品,配置超高分辨率與觀察能力。此系列突破了傳統(tǒng)SEM產品受安裝樣品尺寸與重量的限制,通過簡單的操作即可實現數據采集。可用于鋼鐵等工業(yè)材料,汽車、航空航天部件等超大、超重樣品的觀察。
此外,SE系列包括4種型號(兩種類型,兩個等級),滿足眾多領域的測試需求。用戶可以根據實際用途(如微觀結構控制:用于改善電子元件、半導體等材料的功能和性能;異物、缺陷分析:用于提高產品品質)選擇適合的產品。
產品特點:
熱場SEM支持低真空,搭載超大樣品倉,可擴展實現更多功能
電子顯微鏡是進行材料形貌評價與分析的重要手段,而且直接觀察樣品的需求很常見。
SU3900/SU3800SE系列搭載牢固的多用途樣品倉,對于非導電性樣品,無需進行導電處理(金屬鍍膜);對于超大超重樣品,無需進行切割等破環(huán)處理,可以直接安裝到樣品臺,實現樣品的多角度觀察。
【SU3900SE/SE Plus】
ф300mm晶圓安裝示例 在使用樣品交換倉時
也可以安裝高度45mm的樣品。
130mm 高金屬配件安裝示例
具有更高的分辨率和樣品極表面信息觀察的能力
此系列搭載新開發(fā)的熱場電子槍,在高、低加速電壓條件下,均可獲得超高分辨率圖像。
**型號(SE Plus)可以滿足對樣品極表面的觀察需求。
并且,標配的低電壓高靈敏度背散射電子探測器,可以獲取高質量的樣品成分和凹凸信息。
SE系列的探測系統(tǒng),通過選配的UVD探測器,還可以獲得樣品多種類型信息,實現多種模式觀察。
自動化、輔助功能讓操作更便捷
SU3900/SU3800 SE系列配備自動光學系統(tǒng)調整功能,可大量簡化操作流程。
此外,使用選配功能【EM Flow Creator】,可以自動連續(xù)獲取圖像。
將條件設置(如放大倍率,樣品臺位置等)、調整對焦/對比度等SEM功能轉化為可組合的模塊,生成一系列觀察程序。每個客戶都可以創(chuàng)建自己的觀察程序。
通過拖拽模塊,可以像流程表一樣創(chuàng)建程序。通過執(zhí)行創(chuàng)建的程序,即可實現自動觀察。
①確定指定區(qū)域,以×300倍率拍攝低倍圖像
②以×1,000 拍攝同一區(qū)域的中倍圖像
③以×5,000 拍攝同一區(qū)域的高倍圖像
應用案例
金屬
鐵絲斷面
可以確認韌性斷裂引起的微小孔洞
電子元件
電路板 多層陶瓷電容器橫截面
通過低倍率、高傾斜觀察,可以確認貼裝元件的立體形狀及位置 可以觀察到鎳電極/電介質層的成分和晶體襯度
無機材料
氧化鋅顆粒 高熵硬質合金薄膜
可以觀察到50 nm 左右的細小顆粒及立體形狀 可以觀察到不同成分/形狀的多個顆粒的分布
電池材料
鋰離子電池正極材料 鋰離子電池負極材料
可以觀察到正極材料顆粒與周圍粘合劑的分布 可以觀察到負極材料*表面的粘合劑
HITACHI日立科學儀器SU3900/SU3800高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡:營銷中心
高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡 SU3900/SU3800 SE Series
SU3900/SU3800 SE系列FE-SEM產品具備超高分辨率和觀察能力,突破了傳統(tǒng)SEM產品的樣品尺寸與重量限制。該系列適用于鋼鐵、汽車、航空航天等超大、超重樣品的觀察,提供四種型號以滿足不同需求。其熱場電子槍可在高低加速電壓下獲得高分辨率圖像,并能觀察樣品表面細節(jié)。此外,該系列支持低真空模式,配備大樣品倉和多種探測器,實現多角度觀察。自動化功能簡化操作流程,提高效率。該設備廣泛應用于材料形貌評價、微觀結構控制和缺陷分析等領域。
SU3900/SU3800 SE系列作為FE-SEM產品,配置超高分辨率與觀察能力。此系列突破了傳統(tǒng)SEM產品受安裝樣品尺寸與重量的限制,通過簡單的操作即可實現數據采集??捎糜阡撹F等工業(yè)材料,汽車、航空航天部件等超大、超重樣品的觀察。
此外,SE系列包括4種型號(兩種類型,兩個等級),滿足眾多領域的測試需求。用戶可以根據實際用途(如微觀結構控制:用于改善電子元件、半導體等材料的功能和性能;異物、缺陷分析:用于提高產品品質)選擇適合的產品。
HITACHI日立科學儀器SU3900/SU3800高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡:營銷中心產品特點:
熱場SEM支持低真空,搭載超大樣品倉,可擴展實現更多功能
電子顯微鏡是進行材料形貌評價與分析的重要手段,而且直接觀察樣品的需求很常見。
SU3900/SU3800SE系列搭載牢固的多用途樣品倉,對于非導電性樣品,無需進行導電處理(金屬鍍膜);對于超大超重樣品,無需進行切割等破環(huán)處理,可以直接安裝到樣品臺,實現樣品的多角度觀察。
【SU3900SE/SE Plus】
ф300mm晶圓安裝示例 在使用樣品交換倉時
也可以安裝高度45mm的樣品。
130mm 高金屬配件安裝示例
具有更高的分辨率和樣品極表面信息觀察的能力
此系列搭載新開發(fā)的熱場電子槍,在高、低加速電壓條件下,均可獲得超高分辨率圖像。
**型號(SE Plus)可以滿足對樣品極表面的觀察需求。
并且,標配的低電壓高靈敏度背散射電子探測器,可以獲取高質量的樣品成分和凹凸信息。
SE系列的探測系統(tǒng),通過選配的UVD探測器,還可以獲得樣品多種類型信息,實現多種模式觀察。
自動化、輔助功能讓操作更便捷
SU3900/SU3800 SE系列配備自動光學系統(tǒng)調整功能,可大量簡化操作流程。
此外,使用選配功能【EM Flow Creator】,可以自動連續(xù)獲取圖像。
將條件設置(如放大倍率,樣品臺位置等)、調整對焦/對比度等SEM功能轉化為可組合的模塊,生成一系列觀察程序。每個客戶都可以創(chuàng)建自己的觀察程序。
通過拖拽模塊,可以像流程表一樣創(chuàng)建程序。通過執(zhí)行創(chuàng)建的程序,即可實現自動觀察。
①確定指定區(qū)域,以×300倍率拍攝低倍圖像
②以×1,000 拍攝同一區(qū)域的中倍圖像
③以×5,000 拍攝同一區(qū)域的高倍圖像
應用案例
金屬
鐵絲斷面
可以確認韌性斷裂引起的微小孔洞
電子元件
電路板 多層陶瓷電容器橫截面
通過低倍率、高傾斜觀察,可以確認貼裝元件的立體形狀及位置 可以觀察到鎳電極/電介質層的成分和晶體襯度
無機材料
氧化鋅顆粒 高熵硬質合金薄膜
可以觀察到50 nm 左右的細小顆粒及立體形狀 可以觀察到不同成分/形狀的多個顆粒的分布
電池材料
鋰離子電池正極材料 鋰離子電池負極材料
可以觀察到正極材料顆粒與周圍粘合劑的分布 可以觀察到負極材料*表面的粘合劑
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