手動(dòng)型
UNECS 系列
UNECS?Portable
ULVAC
UNECS-1500M
自動(dòng)型
UNECS-1500A
UNECS-2000A
UNECS-3000A
嵌入型
UNECS-1M
ULVAC特點(diǎn) 高速測定: 獨(dú)特的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測量。 適用于可見光譜: 波長范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。 緊湊型傳感器單元: 光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護(hù)。 豐富的產(chǎn)品陣容: 產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛,包括如獨(dú)特的便攜類型,手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。 用途 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測量 規(guī)格 波長范圍 530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(選擇) 點(diǎn)徑 Φ1mm、Φ0.3mm(選擇) 入射角度 70o固定 膜厚再現(xiàn)性 1σ = 0.1nm 膜厚范圍 1nm ~ 2μm 測量時(shí)間 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms 平臺(tái) 固定類型(Φ150mm以下、可拆卸) 控制PC 筆記本類型(帶操作/分析軟件) 機(jī)器構(gòu)成 測量本體(帶固定臺(tái))、控制器BOX、光源單元 操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD)
選型
標(biāo)準(zhǔn)樣品
100? SIO2/Si